Шаблон сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) изготовили на пластине из карбида кремния с ТКЛР 2,77*10
-6/
, нанопечать производят на пластину кремния с ТКЛР 2,98*10
-6/
. Вычислите максимальное смещение изображения (в мкм), если диаметр пластины кремния 150 мм, а во время нанопечати пластины нагревают от 20
до 120
. Ответ введите с точностью до второго знака после запятой.